लेज़र उत्कीर्णन, कटिंग और मार्किंग सिस्टम में गैल्वेनोमीटर स्कैनिंग दर्पणों के साथ एफ-थीटा लेंस का आमतौर पर उपयोग किया जाता है। आमतौर पर लेंस का एफ-थीटा विरूपण 1% से कम रखा जाता है ताकि यह छवि तल पर समतल क्षेत्र में एक सटीक बिंदु उत्पन्न कर सके।
व्यास सहनशीलता: +0/-0.13 मिमी
मोटाई में सहनशीलता: ±0.25 मिमी
फोकल लेंथ टॉलरेंस: ±2%
किनारे की मोटाई में भिन्नता (ETV): ≤3 आर्क मिनट।
स्पष्ट अपर्चर: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
सतह की गुणवत्ता: 40-20 एसडी
एआर कोटिंग: R<0.2% प्रति सतह @10.6μ